- 기업명
- 한국과학기술원
- 기관주소
- 대전 유성구 대학로 291 (구성동)
- 기관 전화번호
- 042-350-****
- 휴대 전화번호
- -
- 산업명
- 대학교
시설장비 설명
Substrate 위에 Resist라는 Polymer 물질을 도포한 후 Pattern의원판 역할을 하는 Mask를 이용하여 빛을 투과시키면 Resist는 광에반응한다. 이후 현상하여 Resist Pattern을 형성한 후 이 Resist를Barrier로 Substrate를 Etching하여 최종적으로 원하는 Pattern을구현하는 장비
사용 용도 내용
분석시험 의뢰
표준 분류 내용
기계가공/시험장비 반도체장비 리소그래픽장비
구성 성능 내용
1 Semi Auto System Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion Manual loading ,Unloading Alignment2 PC PLC Control3 Beam size : 6.25 in. x 6.25 in.4 Sample size : Piece 6in. wafer5 Mask size : Multi 7in.x 7in.6 Wafer Stage : X,Y,Z and Theta 4 Axis motionMotorized Z Theta Axis7 Auto leveling of mask and sample8 350W Mercury short arc lamp Power supply9 Dual CCD zoom microscope and 17 LCD Monitor10 AntiVibration Table
예약정보
- 예약 문의
- 042-350-3309
- 장비 문의
- 042-350-3309
- 기본 시간
- 예약 기본 시간 : 60분
- 추가 시간
- 예약 추가 시간 : 0분
- 최대 시간
- 예약 최대 시간 : 0일9시간 0분
- 단가 명
- 0원
- 단위 명
- 시간
- 활용 범위
- 공동활용서비스
- 활용 대상
- 기관내부활용
- 예약 방법
- 실시간예약
- 이용 방법
- 대여시료의뢰직접사용
- 취소 가능 시간
- 취소 가능 시간 : 0시간 이용일시 기준 이상