ZEUS 상세페이지
자외선 조사 미세패터닝 장비
Mask Aligner & Exposure System
- 기업명
- 한국과학기술원
- 기관주소
- 대전 유성구 대학로 291 (구성동)
- 기관 전화번호
- 042-350-****
- 휴대 전화번호
- -
- 산업명
- 대학교
| 시설장비명 | 한국과학기술원 | 영문장비명 | Mask Aligner & Exposure System |
|---|---|---|---|
| 시설장비활용번호 | Z-NTIS-0062641 | 시설 장비 등록 번호 | NFEC-2016-11-212809 |
| 제작사 모델 명 | 마이다스시스템(주) MDA-600S | 구축 일자 | 20161010 |
| 사용 용도 내용 |
분석시험 의뢰 |
||
| 표준 분류 내용 |
기계가공/시험장비 반도체장비 리소그래픽장비 |
||
| 설치 장소 내용 |
대전광역시 유성구 대학로 291 (구성동)W11 신소재공학과F3층301 |
||
| 장비 설명 |
Substrate 위에 Resist라는 Polymer 물질을 도포한 후 Pattern의원판 역할을 하는 Mask를 이용하여 빛을 투과시키면 Resist는 광에반응한다. 이후 현상하여 Resist Pattern을 형성한 후 이 Resist를Barrier로 Substrate를 Etching하여 최종적으로 원하는 Pattern을구현하는 장비 |
||
| 구성 성능 내용 |
1 Semi Auto System Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion Manual loading ,Unloading Alignment2 PC PLC Control3 Beam size : 6.25 in. x 6.25 in.4 Sample size : Piece 6in. wafer5 Mask size : Multi 7in.x 7in.6 Wafer Stage : X,Y,Z and Theta 4 Axis motionMotorized Z Theta Axis7 Auto leveling of mask and sample8 350W Mercury short arc lamp Power supply9 Dual CCD zoom microscope and 17 LCD Monitor10 AntiVibration Table |
||
| 표준 분류 체계 내용 |
|
||
| 예약 문의 | 042-350-3309 | 장비 문의 | 042-350-3309 |
|---|---|---|---|
| 예약 기본 시간 내용 | 예약 기본 시간 : 60분 | 예약 추가 시간 내용 | 예약 추가 시간 : 0분 |
| 예약 최대 시간 내용 | 예약 최대 시간 : 0일9시간 0분 | 예약 간격 시간 내용 | 예약 간격 시간 : 0분 |
| 단가 명 | 0원 | 단위 명 | 시간 |
| 활용 범위 내용 | 공동활용서비스 | 활용 대상 내용 | 기관내부활용 |
| 요금 항목 명 |
(대표 이용 요금) |
||
| 예약 방법 내용 |
실시간예약 |
||
| 취소 가능 시간 내용 |
취소 가능 시간 : 0시간 이용일시 기준 이상 |
||
| 이용 방법 내용 1 |
대여시료의뢰직접사용 |
||
| 이용 방법 내용 2 |
담당자 문의 |
||